萊寶TTR101N真空計參數(shù)

萊寶TTR101N真空計參數(shù)

變送器開箱之前，檢查包裝材料的各個表面，查看是否存在運輸損壞。檢查可見損壞。如果發(fā)現(xiàn)損壞，請立即通知承運方。
請確認(rèn)變送器包裝中含有以下物件：
? 1 件TTR 101 N THERMOVAC 變送器
? 1 件中文簡式手冊 (P/N: 300544668_002)
? 1 件德文簡式手冊 (P/N: 300544668_001)
? 1 件產(chǎn)品檢驗測試報告
? 1 件通過按鈕調(diào)整設(shè)定時需用的銷 (僅適用于 P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02、230366V02)
如果缺失任何物件，請聯(lián)系 Leybold。
6 300544655_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 說明
TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請參閱第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達(dá)三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果。壓電傳感器獨立于氣體成分和濃度來測量真實的絕對壓力。
這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 真空鎖壓力控制
? 一般真空壓力測量
? 前級管道和粗抽壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 質(zhì)譜儀控制
? 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)
? 系統(tǒng)過程控制
? 檢測異常壓力，利用設(shè)定點繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?br />? 控制系統(tǒng)壓力

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